无尘车间控制温湿度的重要性

发布日期：2019-08-24 作者：点击：

无尘车间的温度和湿度主要根据生产工艺要求确定。在满足生产工艺的前提下，首先要考虑人的舒适性。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温度和湿度的要求越来越高，必须满足温度和湿度的要求。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中，温度上升会引起线性膨胀，同事要求湿度值一般较低。

对于大多数清洁空间，为了防止外部污染的侵入，必须保持内部压力（静压）高于外部压力（静压）。压差维护一般应遵循以下原则：

1、洁净度高的空间压力高于洁净度低的相邻空间压力。

2、洁净室之间的门应向洁净度高的房间开启。

3、洁净空间的压力高于非洁净空间。

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